_ _ _ _____ ___ __ __ _(_) | _(_)___ / ( _ ) / /_ ___ ___ _ __ ___ \ \ /\ / / | |/ / | |_ \ / _ \| '_ \ / __/ _ \| '_ ` _ \ \ V V /| | <| |___) | (_) | (_) | (_| (_) | | | | | | \_/\_/ |_|_|\_\_|____/ \___/ \___(_)___\___/|_| |_| |_|
Kuvaus |
Kryogeeninen DRIE-prosessi. Kuvassa olevat nuolet kuvaavat substraatin pintaan osuvia reagensseja (mustat ympyrät) ja pinnasta irtoavia reaktiotuotteita. Etsausmaskia kuvataan sinisellä värillä. |
---|---|
Lähde | Oma teos |
Päiväys | 9.9.2009 |
Tekijä(t) |
Kari Iltanen |
Diplomityötäni varten tekemäni kaavio kryogeenisesta DRIe-prosessista, viimeisin muokkaus 9.9.2009.
Minä, tämän työn tekijänoikeuksien haltija, julkaisen työni seuraavilla lisensseillä:
|