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청정실(淸淨室) 또는 클린룸(cleanroom)이란 공기 중 입자들의 집중이 제어되도록 지어졌으며, 먼지의 발생, 유입, 유보가 최소화되도록 되어 있고, 온도, 습도, 그리고 압력이 요구에 따라 제어되는 방을 의미한다.
이 글에서 말하는 입자(Particle)는 먼지 뿐만 아니라 세균, 바이러스, 금속 가루, 사람 몸에서 나오는 피부 세포 등등 공기 중에 떠다닐 만한 모든 입자를 이르는 것이다. 그리고 이 글에서는 그중에서 0.1µm~10µm 수준의 입자를 일컫는다. 특히 이 수준으로 쪼개진 입자들은 공기 중에 부유하는 것이 가능하고, 특히 0.5µm 이하의 입자들은 중력의 힘으로는 제대로 침강하지 않으므로, 이러한 입자들이 문제가 된다면 반드시 클린룸을 설치하여야 한다.
2차 세계 대전 이후 많은 공산품이 쏟아지고 생산성에 관심이 높아지는 가운데, 많은 불량 혹은 고장의 원인으로 입자(Particle)가 지목되었다. 특히 세균의 발견과, 반도체의 생산에서 클린룸의 중요성은 매우 높아지게 되었다. 1m3당 일반적인 입자는 35,000,000개로, 이러한 입자들이 부유하는 곳에서의 생산은 피하는 것이 필수가 되었다. 특히 반도체의 경우 공정이 더욱 미세해짐에 따라 이러한 조치는 더욱 필요해졌다. 특히 노광(Photo) 공정에서 이러한 입자는 노광을 방해하는 주요 입자로 지목되었고, 극도의 청정도를 요구하게 된다.
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